高频通常被用於清洗较小、较精密的零件，或清除微小颗粒。高频还被用於被工件表面不允许损伤的应用。使用高频可从几个方面改善清洗性能。随着频率的增加，空化泡的数量呈线形增加，从而产生更多更密集的冲击波使其能进入到更小的缝隙中。如果功率保持不变，空化泡变小，其释放的能量相应减少，这样有效地减小了对工件表面的损伤。高频的另一个优势在於减小了粘滞边界层(泊努里效应)，使得超声波能够发现极细小的微粒。这种情况近似於小溪中水位降低时可以看清溪底的小石子。 

 

    40kHz、80kHz、120kHz和170kHz。清洗极微小的颗粒时，可选用频率为350kHz的产品。近来推出了用於此类场合的MicroCoustics系统，其频率为400kHz。